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日本放送協会放送技術研究所新機能デバイス研究部 | 論文
- 軟X線照射を用いたシリコンマイクロホン電荷蓄積技術の開発(センサーデバイス,MEMS,一般)
- 低電圧動作シリコンマイクロホン (情報センシング)
- 低電圧動作シリコンマイク ('07[NHK]技研公開 講演・研究発表特集号)
- 高性能シリコンマイクロホンの周波数特性改善および動作電圧低減に向けた要素技術の開発
- シリコンマイクの高域特性の改善
- 放送用コンデンサ型シリコンマイクロホンの試作
- コンデンサ型シリコンマイクロホンの開発
- HARP積層型CMOS撮像素子用Au画素電極の形成(映像入出力および一般)
- HARP積層型CMOS撮像素子用Au画素電極の形成
- 電荷蓄積型シリコンマイクの実現に向けた軟X線照射によるエレクトレットの作製 (特殊情報入力デバイス技術特集号)
- M5-2 シリコンエレクトレットコンデンサマイクロホンの実現に向けた無機エレクトレット膜および着電技術の開発(M5 アクチュエータ/フィジカルセンサ)
- MNM-3B-7 電荷蓄積型シリコンマイクロホンの試作と特性評価(セッション 3B 情報・精密機器におけるマイクロ・ナノテクノロジー2)
- 5-9 シリコンマイクロホンの振動膜応力低減(第5部門 情報センシング1)
- 17-13 シリコンマイクロホンの低電圧化に向けた振動膜薄膜化技術(第17部門 情報センシング2)
- 22-1 超小型シリコンマイクロホンの高域特性の改善(第22部門 イメージセンサI)
- 13-9 放送用超小型シリコンマイクロホンの開発(第13部門 情報センシング)
- 7-5 軟X線照射によるシリコンマイクロホン用エレクトレット作製技術の開発(第7部門 センシング&ストレージ)
- 8-1 コンデンサ型シリコンマイクロホンの信頼性試験(第8部門 センシング)
- 軟X線照射によるシリコンマイクロホン用エレクトレットの作製
- 14-5 低電圧動作電荷蓄積型シリコンマイクロホンの開発(第14部門情報センシング)