森 大樹 | 広島大学大学院先端物質科学研究科

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概要

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• 大田 晃生

  広島大学大学院先端物質科学研究科

• 森 大樹

  広島大学大学院先端物質科学研究科

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  広島大学大学院先端物質科学研究科

• 門島 勝

  (株)半導体先端テクノロジーズ

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• 大田 晃生

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• 宮崎 誠一

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• 奈良 安雄

  半導体先端テクノロジーズ(Selete)

• 奈良 安雄

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• 宮崎 誠一

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著作論文

• TiAlN/HfSiONゲートスタックにおけるX線光電子分光分析 : Al拡散による実効仕事関数変化の緩和(メタルゲート/High-k絶縁膜スタック,ゲート絶縁膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)
• Ru/HfSiONゲートスタックのバックサイドX線光電子分光分析 : Ruの実効仕事関数変化の起源(メタルゲート/High-k絶縁膜スタック,ゲート絶縁膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)
• Ru/HfSiONゲートスタックのバックサイドX線光電子分光分析 : Ruの実効仕事関数変化の起源
• TiAlN/HfSiONゲートスタックにおけるX線光電子分光分析 : Al拡散による実効仕事関数変化の緩和

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