吉川 和博 | 東北大学未来科学技術共同研究センター

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概要

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関連著者

• 吉川 和博

  株式会社フジキン大阪ハイテック研究所

• 吉川 和博

  株式会社プレテックat

• 吉川 和博

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 大見 忠弘

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 吉田 達朗

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 大見 忠弘

  東北大学未来科学共同センター

• Ohmi Tadahiro

  The New Industry Creation Hatchery Center (niche) Tohoku University

• 根本 剛直

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 大見 忠弘

  東北大学

• 大見 忠弘

  東北大学 未来科学技術共同研究センター

• 西川 雅弘

  大阪大学工学研究科 電気電子情報工学専攻

• 大見 忠弘

  東北大学未来科学技術共同研究センター:東北大学wpiリサーチセンター

• Ohmi Tadahiro

  Department Of Electronic Engineering Graduate School Of Engineering Tohoku University:(present Addre

• Ohmi T

  Tohoku Univ. Sendai‐shi Jpn

• 西川 雅弘

  大阪大学工学研究科電子情報エネルギー工学専攻

• 添田 一喜

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 平塚 亮輔

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 大橋 朋貢

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 吉川 和博

  東北大学未来科学技術共同研究センター:アプリシアテクノロジー株式会社

• 酒井 健

  東北大学未来科学技術共同研究センター

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著作論文

• 形状記憶合金駆動素子を用いた大口径コンパクトゲートバルブ
• 3次元チップ積層のためのウェットエッチングによるシリコンウェーハの薄化技術(プロセス科学と新プロセス技術)
• 高精密三次元実装にむけた、アルカリエッチングによるシリコン貫通電極形成技術(プロセス科学と新プロセス技術)
• 半導体製造分野における洗浄プロセス技術と装置技術 (特集 洗浄技術とクリーン化技術)
• シリコンウェーハプロセスにおける超高速ウェットエッチング技術(プロセス科学と新プロセス技術)

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