森山 茂夫 | (株)日立製作所計測器事業部
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概要
関連著者
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森山 茂夫
(株)日立製作所計測器事業部
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森山 茂夫
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(株)日立製作所
著作論文
- (2)非対称非球面レンズの量産用研削加工装置の開発
- 高速半導体レ-ザ-プリンタ-
- マルチ工具を用いた加工力の動的制御による非球面ミラー研磨加工技術
- 半導体ウエハの化学機械研磨工程における光学式終点検出法
- 圧電素子アクチュエータ微動機構を備えた超精密X-Y移動台
- 回折格子を用いた精密変位検出法
- 無収差凹面回折格子用数値制御ルーリングエンジンの開発
- 硬 X 線集光用非球面反射鏡の加工に関する研究
- 光ファイバ式微小変位計における反射率の自動補正