原田 達男 | (株)日立製作所
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概要
関連著者
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原田 達男
(株)日立製作所
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原田 達男
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著作論文
- 走査型トンネル顕微鏡の試作と表面観察
- 不等間隔格子溝回折格子の開発
- 圧電素子アクチュエータ微動機構を備えた超精密X-Y移動台
- 回折格子を用いた精密変位検出法
- 無収差凹面回折格子用数値制御ルーリングエンジンの開発