森山 茂夫 | 日立 中研
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概要
関連著者
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森山 茂夫
日立 中研
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森山 茂夫
(株)日立製作所中央研究所
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森山 茂夫
(株)日立製作所計測器事業部
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原田 達男
日立 中研
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内田 史彦
日立 中研
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原田 達男
(株)日立製作所
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瀬谷 英一
(株)日立製作所 中央研究所
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森山 茂夫
日立製作所
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内田 史彦
日立製作所中央研究所
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喜多 敏昭
日立中研
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内田 史彦
(株)日立製作所研究開発本部
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喜多 敏昭
日立 中研
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内田 史彦
(株)日立製作所中央研究所
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鈴木 芳生
(株)日立製作所
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高梨 明紘
(株)日立製作所
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喜多 敏昭
(株)日立製作所
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近藤 彌太郎
(株)日立製作所
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瀬谷 英一
日立製作所
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瀬谷 栄一
日立製作所中央研究所
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森山 茂夫
日立製作所中央研究所
著作論文
- 圧電素子アクチュエータ微動機構を備えた超精密X-Y移動台
- 回折格子を用いた精密変位検出法
- 無収差凹面回折格子用数値制御ルーリングエンジンの開発
- 機械刻線による無収差〓面回折格子の製作(研究ノ-ト)
- 硬 X 線集光用非球面反射鏡の加工に関する研究
- 工具切込み量の回転角同期制御による非球面鏡の加工
- 光ファイバ式微小変位計における反射率の自動補正
- 斜入射X線反射鏡用数値制御ダイヤモンド切削装置
- 超精密位置決め機構の一設計法
- 超精密位置決めのメカニズム(5.精度)(極限へのアプローチ);