超精密位置決め機構の一設計法
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概要
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One design procedure for precision positioning mechanisms with closed-loop control is described. A calculation formula is given for estimating a positioning accuracy when the mechanism can be regarded as a simple vibration system with one degree of freedom. Influence of each parameter upon the positioning error is discussed. Furthermore, influence of each parameter upon the positioning time is investigated by using a computer simulation technique. Considering of these results, one design procedure for achieving a least positioning time property on condition that the specified positioning accuracy is satisfied.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1988-09-05
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