瀬谷 英一 | (株)日立製作所 中央研究所
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概要
関連著者
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瀬谷 英一
(株)日立製作所 中央研究所
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(株)日立製作所中央研究所
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(株)日立製作所中央研究所
著作論文
- マルチ工具を用いた加工力の動的制御による非球面ミラー研磨加工技術
- 加工力の動的制御による非球面ミラーの研磨加工
- 工具切込み量の回転角同期制御による非球面鏡の加工
- 光ファイバ式微小変位計における反射率の自動補正
- 電子ビーム描画装置の動的応答振動解析(第1報) : 機構モデルの検討