加工力の動的制御による非球面ミラーの研磨加工
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概要
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- 1996-09-01
著者
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片桐 創一
(株)日立製作所中央研究所
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森山 茂夫
ものつくり大学
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伊東 昌昭
(株)日立製作所 中央研究所
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瀬谷 英一
(株)日立製作所 中央研究所
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片桐 創一
日立中央研究所
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伊東 昌昭
日立中央研究所
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瀬谷 英一
日立中央研究所
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森山 茂夫
日立中央研究所
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