Cu-CMP用FX-CMP砥石の開発

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概要

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• 2002-10-01

著者

• 本田 実

  日本特殊研砥(株)

• 片桐 創一

  (株)日立製作所中央研究所

• 片桐 創一

  (株)日立製作所

• 山口 宇唯

  (株)日立製作所

• 貝瀬 正博

  (株)日立製作所

• 金井 史幸

  (株)日立製作所

• 山口 宇唯

  (株)日立製作所中央研究所

• 金井 史幸

  (株)日立製作所:(現)(株)ルネサステクノロジ

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