片桐 創一 | (株)日立製作所
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概要
関連著者
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片桐 創一
(株)日立製作所中央研究所
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片桐 創一
(株)日立製作所
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日本特殊研砥(株)
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寺澤 恒男
半導体MIRAIプロジェクト 技術研究組合 超先端電子技術開発機構
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(株)日立製作所中央研究所
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寺澤 恒男
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片岡 慶二
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河村 喜雄
(株)日立製作所
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河村 喜雄
日立製作所 中央研究所
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梅澤 清彦
東京工業大学
著作論文
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- 静圧直線案内のベルト駆動(第1報) : 直線運動精度
- 固定砥粒を用いたSTI平坦化プロセスの研究(第1報) : 平坦化加工性向上のための要因分析
- マルチ工具を用いた加工力の動的制御による非球面ミラー研磨加工技術
- 結像位置におけるヘテロダイン干渉を用いた位置検出法