河村 喜雄 | (株)日立製作所中央研究所
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概要
関連著者
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河村 喜雄
(株)日立製作所中央研究所
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河村 喜雄
日立製作所 中央研究所
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河村 喜雄
(株)日立製作所
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河村 喜雄
日立製作所中央研究所
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本田 実
日本特殊研砥(株)
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片桐 創一
(株)日立製作所中央研究所
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安井 感
(株)日立製作所中央研究所
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河合 亮成
(株)日立製作所
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徳田 光雄
(株)日立ハイテクノロジーズ
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山口 宇唯
(株)日立製作所中央研究所
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金井 史幸
(株)日立製作所:(現)(株)ルネサステクノロジ
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田中 伸司
(株)日立製作所機械研究所
-
森山 茂夫
ものつくり大学
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片桐 創一
日立製作所中央研究所
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安井 感
日立製作所中央研究所
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山口 宇唯
日立製作所中央研究所
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金井 史幸
日立製作所半導体グループ
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河合 亮成
日立製作所モノづくり技術事業部
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田中 嘉弘
日本特殊研砥
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田中 伸司
(株)日立製作所日立研究所
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佐藤 一雄
(株)日立製作所機械研究所
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徳田 光雄
日立ハイテクノロジーズ
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内田 憲孝
(株)日立製作所基礎研究所
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内田 憲孝
(株)日立製作所 中央研究所 ライフサイエンス研究センターバイオシステム研究部
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川久保 洋一
(株)日立製作所中央研究所
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川久保 洋一
(株)日立製作所 機械研究所
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小比田 啓之
(株)日立製作所自動車機器事業部
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小比田 啓之
(株)日立製作所中央研究所
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佐藤 一雄
(株)日立製作所
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片桐 創一
(株)日立製作所
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山口 宇唯
(株)日立製作所
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金井 史幸
(株)日立製作所
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長澤 正幸
日立製作所中央研究所
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山田 延弘
日本特殊研砥
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森田 茂夫
ものつくり大学
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徳田 光雄
日立製作所
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黒崎 利栄
(株)日立製作所那珂工場
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吉羽 洋周
日立中研ライフサイエンス
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宮田 昌彦
慶応義塾大学大学院
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吉羽 洋周
(株)日立製作所基礎研究所
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菊池 次郎
日立工機(株)勝田研究所
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高橋 かほる
日立工機(株)勝田研究所
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森田 健二
(株)日立製作所神奈川工場
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高橋 かほる
日立中研ライフサイエンス
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宮田 昌彦
慶応義塾大学工学部
著作論文
- 固定砥粒を用いたSTI平坦化プロセスの研究(第1報) : 平坦化加工性向上のための要因分析
- STI用固定砥粒CMP(FX-CMP)の開発(第3報):加工均一性の検討
- STI用固定砥粒CMP(FX-CMP)の開発(第2報):気孔制御による低スクラッチ化
- STI用固定砥粒CMP(FX-CMP)の開発 : 砥粒の選定
- マイクロメカニカルデバイスの細胞操作への応用
- プロトプラストの耐久力の定量化
- 像走査法による細胞の分級技術に関する研究
- 研磨テープの浮上効果を利用した磁気ディスクの加工
- 塗布型磁気ディスクの加工
- マイクロメカニカルデバイスを用いた1対1細胞融合技術の開発
- 無シードアルゴンプラズマによる非平衡MHD発電
- 縮少投影露光装置用の出口径の大きいエアマイクロ式位置保持機構の開発