片桐 創一 | (株)日立製作所中央研究所

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概要

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関連著者

• 片桐 創一

  (株)日立製作所中央研究所

• 本田 実

  日本特殊研砥(株)

• 片桐 創一

  (株)日立製作所

• 安井 感

  (株)日立製作所中央研究所

• 森山 茂夫

  ものつくり大学

• 山口 宇唯

  (株)日立製作所中央研究所

• 金井 史幸

  (株)日立製作所:(現)(株)ルネサステクノロジ

• 河村 喜雄

  (株)日立製作所中央研究所

• 河合 亮成

  (株)日立製作所

• 徳田 光雄

  (株)日立ハイテクノロジーズ

• 田中 嘉弘

  日本特殊研砥

• 河村 喜雄

  日立製作所 中央研究所

• 片桐 創一

  日立製作所中央研究所

• 安井 感

  日立製作所中央研究所

• 河村 喜雄

  日立製作所中央研究所

• 山口 宇唯

  日立製作所中央研究所

• 金井 史幸

  日立製作所半導体グループ

• 河合 亮成

  日立製作所モノづくり技術事業部

• 山口 宇唯

  (株)日立製作所

• 金井 史幸

  (株)日立製作所

• 徳田 光雄

  日立ハイテクノロジーズ

• 伊東 昌昭

  (株)日立製作所 中央研究所

• 瀬谷 英一

  (株)日立製作所 中央研究所

• 下河辺 明

  東京工業大学

• 森山 茂夫

  (株)日立製作所計測器事業部

• 貝瀬 正博

  (株)日立製作所

• 青山 尚之

  東京工業大学精密工学研究所

• 梅澤 清彦

  東京工業大学精密工学研究所

• 長澤 正幸

  日立製作所中央研究所

• 山田 延弘

  日本特殊研砥

• 森田 茂夫

  ものつくり大学

• 徳田 光雄

  日立製作所

• 山口 克彦

  (株)日立製作所 中央研究所

• 片桐 創一

  日立中央研究所

• 伊東 昌昭

  日立中央研究所

• 瀬谷 英一

  日立中央研究所

• 森山 茂夫

  日立中央研究所

• 黒崎 利栄

  (株)日立製作所那珂工場

• 寺澤 恒男

  (株)日立製作所中央研究所

• 片岡 慶二

  (株)日立工機

• 青山 尚之

  静岡大学工学部

• 寺澤 恒男

  半導体MIRAIプロジェクト 技術研究組合 超先端電子技術開発機構

• 森山 茂夫

  (株)日立製作所中央研究所

• 寺澤 恒男

  日立 中研

• 片岡 慶二

  日立工機

• 河村 喜雄

  (株)日立製作所

• 梅澤 清彦

  東京工業大学

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著作論文

• Cu-CMP用FX-CMP砥石の開発
• 静圧直線案内のベルト駆動(第1報) : 直線運動精度
• 固定砥粒を用いたSTI平坦化プロセスの研究(第1報) : 平坦化加工性向上のための要因分析
• STI用固定砥粒CMP(FX-CMP)の開発(第3報):加工均一性の検討
• STI用固定砥粒CMP(FX-CMP)の開発(第2報):気孔制御による低スクラッチ化
• シリコンウェハの加工 STI用固定砥粒CMP (特集 高付加価値を生み出す固定砥粒研磨技術)
• STI用固定砥粒CMP(FX-CMP)の開発 : 砥粒の選定
• マルチ工具を用いた加工力の動的制御による非球面ミラー研磨加工技術
• 加工力の動的制御による非球面ミラーの研磨加工
• 結像位置におけるヘテロダイン干渉を用いた位置検出法

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