青山 尚之 | 東京工業大学精密工学研究所
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概要
関連著者
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下河辺 明
東京工業大学
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青山 尚之
東京工業大学精密工学研究所
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青山 尚之
静岡大学工学部
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渡辺 一郎
東京工業大学大学院
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片桐 創一
(株)日立製作所中央研究所
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片桐 創一
(株)日立製作所
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梅澤 清彦
東京工業大学精密工学研究所
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堆 浩太郎
東京工業大学大学院
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梅澤 清彦
東京工業大学
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渡辺 一郎
富士通研究所
著作論文
- 静圧直線案内のベルト駆動(第1報) : 直線運動精度
- 超高精度直線運動機構(第1報) : 機構の試作と2自由度の制御
- 能動空気軸受 : 浮上方向の位置と振動の超精密制御
- 高精度な直線運動に関する研究(第3報) : 5自由制御直動システム
- 高精度な直線運動に関する研究(第2報) : 3自由度制御直動システム
- 高精度な直線運動に関する研究