内田 史彦 | 日立 中研

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• 森山 茂夫

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著作論文

• 走査型 X 線顕微鏡による GaAs FET の素子構造の観察
• 斜入射X線反射鏡用数値制御ダイヤモンド切削装置
• 硬 X 線集光用非球面反射鏡の加工に関する研究
• 工具切込み量の回転角同期制御による非球面鏡の加工
• 光ファイバ式微小変位計における反射率の自動補正
• 斜入射X線反射鏡用数値制御ダイヤモンド切削装置

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