走査型トンネル顕微鏡の試作と表面観察
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
A prototype scanning tunneling microscope (STM) was developed to apply the STM technology for practical micro surface observation. The features of the instrument are : (1) A 3-dimensional piezo inchworm mechanism to approach and select observation area, (2) a conversion technology of tunneling current fractuation to gap fractuation and (3) an automatic approach system of electrochemically etched probe tip to tunneling effect region. Various STM images were obtained both with atomic scale and μm scale. Among them are (7×7) reconstructed Si(111) surface, groove shape of soft X-ray gratings and groove shape of an optical disc, which were compared with SEM and TEM images. The STM is found to be practical to evaluate an extremely fine surface structure formed with recent ultra precision technology.
- 1988-10-05
著者
-
加藤 恵三
(株)日立製作所
-
原田 達男
東京都立大学
-
細木 茂行
日立製作所
-
高田 啓二
日立中研
-
高田 啓二
(株)日立製作所 基礎研究所
-
保坂 純男
(株)日立製作所
-
細木 茂行
(株)日立製作所
-
原田 達男
(株)日立製作所
-
保坂 純男
日立 中研
-
細木 茂行
日立 中研
関連論文
- X線マイクロアナライザーによる鉄鋼中炭素の検出限界の検討 : X線・粒子線
- 「超」への挑戦(「超」を実現するテクノロジー)
- 27aXR-9 歪イメージングによる磁性計測(遷移金属・実験技術)(領域3)
- ひずみイメージングによる強誘電体薄膜の微視的評価
- トンネル音響顕微鏡の原理と応用
- トンネル音響顕微鏡
- 6a-T-11 STMによるAu/Si(111)吸着構造の観察
- 走査型トンネル顕微鏡の試作と表面観察
- 3a-B4-6 STMによる酸素ガス吸着状態の観察
- 3a-B4-4 高速走査型トンネル顕微鏡による実時間観察
- 走査型トンネル顕微鏡(STM)とその画像 : "画像変換装置"合同研究会 : 電子装置 : 画像表示
- 27a-P-6 STMによるSi表面の観察
- 27a-P-5 STMによる層状物質表面の観察
- SPMによるナノマシーニングとデータストレージ
- Si(111)表面上の7x7構造と5x2Au構造間の安定な相境界
- 3a-J-11 Si(111)-5x2Au表面上2倍方向に拡散するAu原子の観察
- 31p-S-8 Si(111)-5x2Au形成過程 : ドメイン間の浸食と成長速度異方性
- 1a-H-12 STMによるSi(111)表面上結晶成長過程のその場観察II
- 走査型トンネル顕微鏡を用いた表面修飾 - 二硫化モリブデンなどの原子操作 -
- 25a-Y-4 STMによるSi(111)表面上結晶成長過程のその場観察
- SNOMを用いた相変化記録
- 不等間隔格子溝回折格子の開発
- 圧電素子アクチュエータ微動機構を備えた超精密X-Y移動台
- 回折格子を用いた精密変位検出法
- 無収差凹面回折格子用数値制御ルーリングエンジンの開発
- 原子間力顕微鏡探針を用いた加圧変調ナノメータ記録
- 高速レ-ザ-描画システム
- 半導体プロセスにおけるレ-ザ-ビ-ム走査技術
- 交流電流加熱によるSi(001)表面構造変化
- STM(走査型トンネル顕微鏡) (メゾスコピック系の物理) -- (先端技術)
- アトムテクノロジ-による材料実験 (ミクロの研究室--電子顕微鏡内でどんな材料実験ができるか)
- STMによる表面加工 (インパクトを与えたこの研究)
- 超高真空AFM/STM装置による表面観察 (走査プロ-ブ顕微鏡の最前線)
- 走査型トンネル顕微鏡 (90年代のキ-テクノロジ-)
- Si7×7再配列構造の観察とその要素技術について (STMの固体表面観察への応用と展望)
- 電子線蒸着装置のShadowingえの応用
- 電子線蒸着装置のshadowingへの応用 : X線・粒子線
- 近接場光を用いた超高密度記録
- テラビットメモリーへの挑戦(創立100周年記念ミクロの世界)
- SPMを用いた超高密度記録の現状と将来
- 超微小電流の通過とトライボロジー:走査プローブ顕微鏡
- 走査型トンネル顕微鏡 (STM) による超微細加工技術
- SEM機能を有する高性能走査トンネル顕微鏡(STM)の開発
- SNOM技術の光記録へ応用
- STMの高性能化と先端プロセスへの応用
- イオンビーム加工法によるスパッタ率
- 電界イオン顕微鏡と電子顕微鏡による炭素フィールドエミッタの研究
- 3. 材料科学への応用総説/Si (111) の付着金原子による再配列構造
- STMで表面の出来事をとらえる
- 走査型トンネル顕微鏡(STM)による表面現象のその場観察と原子操作