トンネル音響顕微鏡の原理と応用
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概要
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トンネル音響顕微鏡とは,走査型トンネル顕微鏡の試料に歪を発生させうる作用に変調を加え、試料に超音波を発生させ、これを検出することにより、超音波源となった作用及び超音波の伝播経路の情報を得るものである。これまでに、探針-試料間に働く表面力と静電気力の検出とこれらを用いたイメージング、及び試料の圧電性のイメージングに成功した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-05-26
著者
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