本間 喜夫 | (株)日立製作所中央研究所

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概要

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関連著者

• 本間 喜夫

  (株)日立製作所中央研究所

• 本間 喜夫

  (株)日立製作所 中央研究所

• 古澤 健志

  ルネサステクノロジー

• 古澤 健志

  (株)日立製作所中央研究所

• 森山 茂夫

  (株)日立製作所計測器事業部

• 小林 伸好

  (株)日立製作所デバイス開発センタ

• 佐久間 憲之

  日立製作所中央研究所

• 小林 伸好

  日立製作所. デバイス開発センタ

• 山口 克彦

  (株)日立製作所 中央研究所

• 森山 茂夫

  (株)日立製作所中央研究所

• 島村 泰夫

  日立化成工業株式会社山崎工場開発部

• 森嶋 浩之

  日立化成工業株式会社山崎工場開発部

• 山本 靖浩

  日立化成工業株式会社山崎工場開発部

• 佐藤 任廷

  日立化成工業株式会社山崎工場開発部

• 楠川 喜久雄

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• 宮崎 博史

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• 宮崎 博史

  (株)日立製作所 半導体グループ

• 佐久間 憲之

  (株)日立製作所中央研究所

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著作論文

• 半導体ウエハの化学機械研磨工程における光学式終点検出法
• リフロー性有機塗布ガラスによる平たん化技術
• 低抵抗・低ε材料による平たん化多層配線の課題
• ポリイミド-アルミニウム多層配線のパッケージ収縮応力に対する信頼性向上

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