大場 隆之 | 東京大学大学院工学系研究化総合研究機構
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概要
関連著者
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中村 友二
富士通研究所
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大場 隆之
東京大学大学院工学系研究科総合研究機構
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前田 展秀
東京大学大学院工学系研究化総合研究機構
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大場 隆之
東京大学大学院工学系研究化総合研究機構
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北田 秀樹
東京大学大学院工学系研究化総合研究機構
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藤本 興治
大日本印刷株式会社
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前田 展秀
東京大学大学院工学系研究科総合研究機構
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北田 秀樹
東京大学大学院工学系研究科総合研究機構
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中村 友二
(株)富士通研究所
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藤本 興冶
東京大学工学系研究科
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藤本 興治
大日本印刷
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水島 賢子
富士通研究所
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水島 賢子
株式会社富士通研究所
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水島 賢子
東京大学大学院工学系研究化総合研究機構
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NAKATA Yoshihiro
Fujitsu Laboratories Ltd.
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児玉 祥一
東京大学大学院工学系研究科総合研究機構
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金 永束
東京大学大学院工学系研究科総合研究機構
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藤本 興治
東京大学大学院工学系研究科総合研究機構
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川合 章仁
(株)ディスコ
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荒井 一尚
(株)ディスコ
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鈴木 浩助
大日本印刷株式会社
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金 永〓
東京大学工学系研究科
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中田 義弘
株式会社富士通研究所
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中田 義弘
富士通研究所
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金 永〓
東京大学大学院工学系研究科総合研究機構
著作論文
- ウェーハ積層を用いた三次元高集積化技術(先端電子デバイスパッケージと高密度実装における評価・解析技術論文)
- 3次元積層技術における低温バンプレスTSVプロセス(配線・実装技術と関連材料技術)
- Si貫通ビア(TSV)の側壁ラフネスに起因したリーク電流特性とビア応力の関係(配線・実装技術と関連材料技術)
- Si貫通ビア(TSV)の側壁ラフネスに起因したリーク電流特性とビア応力の関係