藤塚 良太 | 名古屋大学大学院工学研究科:(現)東芝セミコンダクター社

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概要

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• 財満 鎭明

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• 藤塚 良太

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• 財満 鎭明

  名古屋大学先端技術共同研究センター

• 藤塚 良太

  名古屋大学大学院工学研究科:(現)東芝セミコンダクター社

• 財満 鎭明

  名古屋大学

• 財満 鎭明

  名古屋大学大学院 工学研究科

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著作論文

• 電流検出型原子間力顕微鏡を用いたLa_2O_3-Al_2O_3複合膜の局所リーク電流評価(ゲート絶縁膜, 容量膜, 機能膜及びメモリ技術)

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