佐合 寿文 | 名古屋大学大学院工学研究科

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概要

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• 酒井 朗

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• 財満 鎭明

  名古屋大学大学院工学研究科

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• 藤塚 良太

  名古屋大学大学院工学研究科

• 藤塚 良太

  名古屋大学大学院工学研究科:(現)東芝セミコンダクター社

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著作論文

• La_2O_3-Al_2O_3複合膜における定電圧ストレス印加時の局所的な電荷捕獲とその放出過程(ゲート絶縁膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)
• 電流検出型原子間力顕微鏡を用いたLa_2O_3-Al_2O_3複合膜の局所リーク電流評価(ゲート絶縁膜, 容量膜, 機能膜及びメモリ技術)

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