藤崎 芳久 | 東京工業大学フロンティア創造共同研究センター

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概要

• 同名の論文著者
• 東京工業大学フロンティア創造共同研究センターの論文著者

関連著者

• 藤崎 芳久

  東京工業大学フロンティア創造共同研究センター

• 石原 宏

  東京工業大学

• 藤崎 芳久

  日立製作所中央研究所

• 石原 宏

  東京工業大学大学院総合理工学研究科

• 徳光 永輔

  東北大学電気通信研究所

• 徳光 永輔

  東京工業大学精密工学研究所

• 徳光 永輔

  東京工業大学精密工学研究所:東北大学電気通信研究所it-21センター

• 貴志 真士

  東京工業大学精密工学研究所

• 井関 邦江

  東京工業大学フロンティア創造共同研究センター

著作論文

• 強誘電体(Sr,Sm)Bi_2Ta_2O_9とAl_2O_3/Si_3N_4バッファ層を用いた強誘電体ゲート構造の作製と評価(AWAD2003 : 先端デバイスの基礎と応用に関するアジアワークショツプ)
• 強誘電体(Sr,Sm)Bi_2Ta_2O_9とAl_2O_3/Si_3N_4バッファ層を用いた強誘電体ゲート構造の作製と評価(AWAD2003(先端デバイスの基礎と応用に関するアジアワークショップ))
• MFIS用Al_2O_3/Si_3N_4バッファー層
• 原子状窒素を用いたSi基板のダメージフリー低温窒化技術
• 光電子分光法を用いた強誘電体薄膜表面,電極界面の評価技術

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