新田 雄久 | 株式会社UCT開発研究所
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概要
関連著者
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新田 雄久
株式会社UCT開発研究所
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大見 忠弘
東北大学工学部
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柴田 直
東北大学工学部
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竹脇 利至
東北大学工学部電子工学科
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新田 雄久
日立製作所デバイス開発センタ
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大見 忠弘
東北大学未来科学技術共同研究センター
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冨田 和朗
ルネサステクノロジ
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中田 明良
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
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山田 尚
東北大学工学部電子工学科
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海原 竜
東北大学大学院電子工学専攻
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海原 竜
東北大学工学部電子工学科
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中田 明良
東北大学工学部電子工学科
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大見 忠弘
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
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三木 正博
Uct開発研
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原田 康之
株式会社プレテック
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都賀 智仁
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
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三木 正博
株式会社UCT開発研究所
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岡 マウリシオ正純
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
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新田 雄久
UCT開発研究所
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岡 マウリシオ
東北大学工学部
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冨田 和朗
東北大学工学部
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新田 雄久
東北大学工学部
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冨田 和朗
東北大学電気通信研究所
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右田 智裕
東北大学電気通信研究所
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星 司
東北大学工学部電子工学科
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大見 忠弘
東北大学大学院工学研究科
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竹脇 利至
東北大学電気通信研究所超微細電子回路実験施設
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都賀 智仁
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻 : 株式会社uct開発研究所
著作論文
- ULSI製造対応高性能ウエットクリーンプロセス : パーティクルフリー枚葉式ウエハ洗浄システム
- 高信頼性銅一マグネシウム合金配線技術
- 450℃アニールにより低逆バイアス電流n^+p接合の形成
- 450℃超低温接合形成のためのメタル汚染低減イオン注入技術
- サブクォーターミクロンULSI用銅配線技術
- パルス電流ストレスによるジャイアントグレイン銅配線の信頼性評価
- 大電流ストレスによるジャイアント・グレインCu配線のエレクトロマイグレーション耐性評価