竹脇 利至 | 東北大学工学部電子工学科

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概要

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• 東北大学工学部電子工学科の論文著者

関連著者

• 竹脇 利至

  東北大学工学部電子工学科

• 大見 忠弘

  東北大学工学部

• 新田 雄久

  株式会社UCT開発研究所

• 柴田 直

  東北大学工学部

• 新田 雄久

  日立製作所デバイス開発センタ

• 山田 尚

  東北大学工学部電子工学科

• 海原 竜

  東北大学大学院電子工学専攻

• 海原 竜

  東北大学工学部電子工学科

• 大見 忠弘

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 新田 雄久

  UCT開発研究所

• 星 司

  東北大学工学部電子工学科

• 竹脇 利至

  東北大学電気通信研究所超微細電子回路実験施設

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著作論文

• 高信頼性銅一マグネシウム合金配線技術
• サブクォーターミクロンULSI用銅配線技術
• パルス電流ストレスによるジャイアントグレイン銅配線の信頼性評価
• 大電流ストレスによるジャイアント・グレインCu配線のエレクトロマイグレーション耐性評価
• 超高速ULSI用の銅配線技術 (半導体デバイスにおけるコンタクト材料)

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