金村 龍一 | ソニー(株)セミコンダクタソリューションネットワークカンパニーセミコンダクタテクノロジー開発部
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概要
関連著者
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金村 龍一
ソニー
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金村 龍一
ソニーセミコンダクターソリューションズネットワークカンパニー
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金村 龍一
ソニー(株)セミコンダクタソリューションネットワークカンパニーセミコンダクタテクノロジー開発部
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松田 聡
(株)東芝 セミコンダクター社 システムLSI開発センター
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吉田 毅
九州大学医学部附属病院放射線科
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松田 聡
(株)東芝セミコンダクター社システムlsi第一事業部システムlsiデバイス技術開発部
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土生 真理子
(株)東芝マイクロエレクトロニクス研究所
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梶田 明広
(株)東芝研究開発センターデバイスプロセス開発センター
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宮島 秀史
(株)東芝セミコンダクター社
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臼井 孝公
(株)東芝セミコンダクター社
著作論文
- 65nm世代CMOSプラットホームの多層プロセスの開発について : ハイブリッド多層構造の量産実用化(ゲート絶縁膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)
- コンタクト抵抗特性に与えるTiN/Tiスパッタ密着層形成法の影響