大路 洋 | (株)半導体先端テクノロジーズ

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概要

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関連著者

• 堀内 淳

  (株)半導体先端テクノロジーズ

• 鳥居 和功

  (株)半導体先端テクノロジーズ

• 鳥居 和功

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• 川原 孝昭

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• 高田 仁志

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• 高橋 正志

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• 宮崎 誠一

  広島大学大学院

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著作論文

• polySi/HfAlOx/SiONゲートスタックの経時絶縁破壊(ゲート絶縁膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)
• HfAlO_x/下地膜界面反応抑制の検討

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