細井 信基 | 株式会社半導体先端テクノロジーズ
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概要
関連著者
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細井 信基
株式会社半導体先端テクノロジーズ
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細井 信基
日本電気株式会社先端デバイス開発本部
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長井 瑞樹
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著作論文
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- シード補強銅めっきを用いた銅配線埋設技術( : 低誘電率層間膜及び配線技術)