松岡 孝明 | 東京エレクトロン技術研究所(株)

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概要

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• 同名の論文著者
• 東京エレクトロン技術研究所(株)の論文著者

関連著者

• 松岡 孝明

  東京エレクトロン技術研究所(株)

• 寺本 章伸

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 大見 忠弘

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 石川 拓

  東京エレクトロン技術研究所(株):東北大学大学院工学研究科

• 伊藤 隆司

  東北大学大学院工学研究科

• 平山 昌樹

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 野沢 俊久

  東京エレクトロン技術研究所(株)

• 伊藤 隆司

  (株)富士通研究所

• 伊藤 隆司

  富士通研究所

• 伊藤 隆司

  東京工業大学ソリューション研究機構:広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所

• Toma Dorel

  東京エレクトロンアメリカ株式会社

• Ohmi T

  Tohoku Univ. Sendai‐shi Jpn

• 伊藤 隆司

  東京工大 ソリューション研究機構

• 寺本 章伸

  東北大学未来科学共同センター

• 大見 忠弘

  東北大学未来科学共同センター

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著作論文

• 低誘電率アモルファスハイドロカーボン(aCHx)膜の銅配線バリアー特性の検討(プロセス科学と新プロセス技術)
• 超臨界流体による低誘電率絶縁膜の改質効果 : Ash/Cleanプロセスによる膜ダメージの更正技術

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