高木 茂行 | (株)東芝 生産技術センター
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概要
関連著者
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高木 茂行
(株)東芝 生産技術センター
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山崎 修
(株)東芝 生産技術センター
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(株)東芝 生産技術センター
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東北大・流体研
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筑波大学物理工学系
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筑波大学物理工学系
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(株)東芝 半導体事業部
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(株)東芝
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鳥山 周一
株式会社東芝研究開発センターlsi基盤技術ラボラトリー
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間瀬 康一
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植草 新一郎
明治大学理工学部
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植草 新一郎
明治大学理工学部電気電子工学科
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(株)東芝 生産技術センター
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(株)東芝 生産技術センター
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株式会社 東芝
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後藤 訓顕
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松中 繁樹
(株)東芝 生産技術研究所
著作論文
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- 高繰返しエキシマレーザー用全固体電源の開発
- 統計的解析によるPoly-Si TFTの結晶粒界の影響の評価(プロセス・デバイス・回路シミュレーション及び一般)
- 統計的解析によるPoly-Si TFTの結晶粒界の影響の評価(プロセス・デバイス・回路シミュレーション及び一般)
- 反応性イオンエッチング(RIE), スパッタ及び化学気相成長法(CVD)におけるシミュレーション
- 121 蒸着装置の面内均一性を改善するマスク形状・配置の最適化(計算力学と最適化(4),OS19 計算力学と最適化)
- 2次元 PIC-MCC シミュレーションモデルによる CF_4 プラズマモデリング
- モンテカルロ法によるイオン化スパッタシミュレーション : 第2報,ウエハ表面におけるCu原子・イオンの挙動の考慮(流体工学,流体機械)
- モンテカルロ法によるイオン化スパッタシミュレーション : 第1報,Cu埋め込み形状の再現(流体工学,流体機械)
- 半導体スイッチ電源によるXeClレーザの3kHz動作
- FHG-YAGレーザによるアブレーション加工