木下 和哉 | (株)東芝
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概要
関連著者
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山崎 修
(株)東芝 生産技術センター
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南部 健一
東北大学流体科学研究所
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南部 健一
東北大・流体研
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高木 茂行
(株)東芝 生産技術センター
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間瀬 康一
(株)東芝 半導体事業部
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木下 和哉
(株)東芝
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八尋 和之
(株)東芝
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間瀬 康一
(株)東芝
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井柳 克
(株)東芝 生産技術センター
著作論文
- モンテカルロ法によるイオン化スパッタシミュレーション : 第2報,ウエハ表面におけるCu原子・イオンの挙動の考慮(流体工学,流体機械)
- モンテカルロ法によるイオン化スパッタシミュレーション : 第1報,Cu埋め込み形状の再現(流体工学,流体機械)