井柳 克 | (株)東芝 生産技術センター

スポンサーリンク

概要

• 井柳 克の詳細を見る
• 同名の論文著者
• (株)東芝 生産技術センターの論文著者

関連著者

• 高木 茂行

  (株)東芝 生産技術センター

• 井柳 克

  (株)東芝 生産技術センター

• 山崎 修

  (株)東芝 生産技術センター

• 尾上 誠司

  (株)東芝 生産技術センター

• 南部 健一

  東北大学流体科学研究所

• 南部 健一

  東北大・流体研

• 間瀬 康一

  (株)東芝 半導体事業部

• 木下 和哉

  (株)東芝

• 八尋 和之

  (株)東芝

• 間瀬 康一

  (株)東芝

著作論文

• 反応性イオンエッチング(RIE), スパッタ及び化学気相成長法(CVD)におけるシミュレーション
• 2次元 PIC-MCC シミュレーションモデルによる CF_4 プラズマモデリング
• モンテカルロ法によるイオン化スパッタシミュレーション : 第1報,Cu埋め込み形状の再現(流体工学,流体機械)

スポンサーリンク