尾上 誠司 | (株)東芝 生産技術センター

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概要

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関連著者

• 尾上 誠司

  (株)東芝 生産技術センター

• 高木 茂行

  (株)東芝 生産技術センター

• 山崎 修

  (株)東芝 生産技術センター

• 井柳 克

  (株)東芝 生産技術センター

• 寺本 竜一

  東芝

• 尾上 誠司

  東芝

• 山崎 修

  東芝

• 高木 茂行

  東芝

著作論文

• 反応性イオンエッチング(RIE), スパッタ及び化学気相成長法(CVD)におけるシミュレーション
• 121 蒸着装置の面内均一性を改善するマスク形状・配置の最適化(計算力学と最適化(4),OS19 計算力学と最適化)
• 半導体プロセスを仮想設計するTCADシミュレーション
• 2次元 PIC-MCC シミュレーションモデルによる CF_4 プラズマモデリング

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