弾性表面波駆動の流体アクチュエータを用いた高効率混合チップ

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概要

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著者

• 才木 常正

  兵庫県立工業技術センター

• 才木 常正

  大阪大学大学院 基礎工学研究科

• 内海 裕一

  兵庫県立大

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