LSIの進展に対する電源電流を用いた評価技術の推移
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概要
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水道管からの水漏れと同じく、LSIも欠陥箇所を介して電流が漏れ出し、故障に到らしめる。20年前の電子交換機事故を例にこの水漏れである電流評価の重要性を示す。これまで電流はLSIを評価する上で重要なパラメータとなり品質の一端を支えてきた。そして、LSIの微細化、大規模化に伴い電流を用いた故障や劣化の識別が壁に当たるとその都度、研究がなされ延命から新方式へ改善がなされてきた。しかし、今日「電流による評価法は適用できなくなってしまった」という意見がささやかれるようになっている。今後はどのようになるか？これまでの経緯と共に考えを述べてみる。
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