SPring-8の産業利用(9)放射光マイクロX線回折法によるひずみ緩和SiGeバッファー層の評価
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概要
著者
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木村 滋
JASRI
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木村 滋
財団法人高輝度光科学研究センター
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木村 滋
マイクロエレ研
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木村 滋
Nec基礎研究所
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木村 滋
(財)高輝度光科学研究センター ナノテクノロジー総合支援プロジェクト推進室
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