エピタキシャルリフトオフ(ELO)技術による光素子の薄膜化
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概要
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- エレクトロニクス実装学会の論文
- 2003-10-16
著者
-
木下 雅夫
独立行政法人産業技術総合研究所エレクトロニクス研究部門光・電子SI連携研究体
-
三川 孝
技術研究組合超先端電子技術開発機構(aset)電子si技術研究部武蔵野研究センタ
-
比留間 健之
技術研究組合超先端電子技術開発機構電子SI技術研究部武蔵野研究センタ
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