半導体実装におけるAu/Al接合信頼性に及ぼすAl表面自然酸化膜の影響

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概要

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• 新日本製鉄の論文

著者

• 水野 薫

  島根大理工

• 水野 薫

  新日本製鐵(株) 先端技術研究所

• 水野 薫

  新日本製鉄先端技術研究所

• 柘植 敦子

  新日本製鉄 先端技研

• 宇野 智裕

  新日本製鐵 先端技研

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