有機分子の吸着によるケイ素の光電子放出挙動の変化(<特集>表面・界面・薄膜と分析化学)
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概要
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有機溶剤に浸漬, 乾燥したSiウエハ表面からの光電子放出挙動をX線光電子分光法(XPS)及び大気中紫外線光電子計数法(a-UPC)で観察した.ウエハをそのまま溶剤に漬けたものでは溶剤の種類による差はほとんど見られないが, 浸漬前にフッ化水素酸で自然酸化膜を除去した場合, 溶剤分子の極性や蒸気圧によって大きな差が見られた.この差は特にa-UPCで測定される低エネルギーの光電子で顕著である.又, XPSの結果からは-OH基を持つ分子の吸着が示唆された.以上の結果から, 極性をもった分子の吸着により浅い準位の電子の励起放出挙動を変化させるものと推定される.又, a-UPCは表面吸着の状態を大気中で観察する手段として有効であることが分かった.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1991-11-05
著者
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