29a-K-1 クヌーセン圧MOCVDによるAlNエピタキシャル成長(VI) : AFMによる初期窒化基板観察

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概要

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• 1997-03-28

著者

• 坪内 和夫

  東北大学 電気通信研究所

• 益 一哉

  東北大学 電気通信研究所

• 苫米地 秀一

  東北大学 通研

• 和田 一彦

  東北大学 通研

• 末次 琢三

  東北大学 通研

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