回転楕円形スーパーミラー用金属基板の平板試験片の作製と中性子による性能評価
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
中性子はソフトマターの内部構造や金属材料の磁気構造を測定するのに非常に有効なプローブだが、小角散乱などの集光光学系の測定精度は主に光学素子の形状誤差と表面粗さに依存する。複雑な二次曲面を作製する場合、金属材料を切削した方が、従来の石英を研磨する手法と比べて、遥かに容易に高精度な曲面を創成できる。本研究では、超精密切削加工により、0.4µm程度の形状誤差を持つ二次曲面を創成した。
- 公益社団法人 精密工学会の論文
著者
-
森田 晋也
理研
-
Morita Shinya
Ohmori Materials Fabrication Laboratory The Institute Of Physical And Chemical Research
関連論文
- 28pSE-11 EUSO ミッション (29) MAPMT 開発状況(超高エネルギー宇宙線, 宇宙線)
- 407 大型SiCミラーのELID研削(OS-12 ELID加工)
- 25aYS-2 放物面型多層膜スーパーミラーによる熱・冷中性子収束光学素子の開発(X線・粒子線(X線),領域10(誘電体, 格子欠陥, X線・粒子線, フォノン物性))
- 123 5 軸制御超精密加工機による球面回折格子の加工
- イオンショットドレッシング研削システムの開発
- 3512 V-Camによる機上計測フィードバック加工(S65 加工計測・評価システム,S65 加工計測・評価システム)
- V-CAM援用による自由曲面の仕上げ加工効果
- V-CAMの開発およびそれの援用によるものつくり
- ナノ精度保証、加工誤差ゼロを追求する加工計測融合システム (特集 高精度・高品質・高効率生産を支えるインプロセス/オンマシン計測)
- 408 ELID研削と磁性流体研磨(MRF)連携加工プロセスの効果(OS-12 ELID加工)
- 406 レーザ式非接触加工機上測定システムの開発(OS-12 ELID加工)
- 405 低圧触針式機上形状測定システムの開発 : 低圧接触式プローブの高精度化(OS-12 ELID加工)
- レーザプローブによる非接触オンマシン形状測定
- 814 放物面鏡の加工について(ELID研削)(OS.1 生産加工・工作機械)
- ELID研削技術とその新たなる展開--ナノプレシジョン加工とマイクロ化がELIDを変える (特集2 砥粒加工技術)
- 27aTF-7 大気チェレンコフ望遠鏡における補正光学系の開発(27aTF 高エネルギーガンマ線,宇宙線・宇宙物理領域)
- ナノ精度・計測融合ファブリケーションを目指す加工機上測定システム (特集 機上計測技術とその活用)
- VCADものつくり応用技術の研究開発
- 119 サブミクロン回折格子の超精密マイクロ切削加工
- 5軸制御によるホログラム光学素子の加工
- 1406 屈折率傾斜(GRIN)光学素子の超精密ELID非球面研削加工(S78-2 高機能研削加工(2),S78 高機能研削加工)
- W10(3) 不均質構造体の変形シミュレーションとその超精密加工(ナノ精度加工プロセスとそのシステム化・実用に関する研究分科会)
- W10(2) 非球面傾斜光学機能レンズの開発と光学機能シミュレーション(ナノ精度加工プロセスとそのシステム化・実用に関する研究分科会)
- W10(1) V-Camファブリケーションシステムが拓く新しい超精密・超精緻加工(ナノ精度加工プロセスとそのシステム化・実用に関する研究分科会)
- 304 複合・連携加工プロセスによる光学素子の超精密・高品位加工(精密/微細加工と評価)
- レーザープローブを用いた非接触式機上形状測定システムの開発
- 413 超精密 ELID 鏡面加工機による大形光学素子の超精密加工特性
- F-0506 X線ミラーの超精密ELID研削加工(G13-2 生産加工・工作機械(2))(G13 生産加工・工作機械部門一般講演)
- 22pYH-2 中性子光学素子の開発
- 長尺非球面X線ミラーの製作に関する研究(第1報) : 300mmトロイダル石英X線ミラーの加工
- 非軸対称非球面工学素子の超精密ELID研削の試み
- Development of Aspherical Gradient Index (GRIN) Lens Fabrication System based on VCAD Concept and ELID Grinding(Nanoprecision Elid-grinding (continued))
- ELID Grinding of a Symmetric Paraboloidal Quartz Mirror(Nanoprecision Elid grinding)
- Study on Mirror ELID Grinding of Ceramics and Metals
- 異方性圧縮SLIM法による精密非球面光学素子測定点群の近似曲面生成
- 25pTN-2 中性子微分位相コントラストイメージング法の開発(25pTN X線・粒子線(中性子),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))
- 緊急地震速報技術の展望
- デザインのためのインタフェース
- 北海道大学における中性子利用技術開発
- 金属製中性子ミラーの研磨
- 分割された中性子反射集光ミラーの性能評価に関する研究
- NiPアモルファス基板の超精密平面切削加工による新たな中性子ミラーの開発:NiP基板におけるシェーパ切削加工の切削方向が散漫散乱に及ぼす影響
- 回転楕円形スーパーミラー用金属基板の平板試験片の作製と中性子による性能評価
- 非球面レンズの3次元形状計測点群からの高精度表面メッシュ生成手法
- 加工誤差を含む非球面光学素子の長田パッチによる形状表現
- Tentative investigation on neutron mirror fabrication with electroless nickel plating
- イオンショットドレッシング研削システムの開発
- 異方性圧縮ＳＬＩＭ法による精密非球面光学素子測定点群の近似曲面生成
- 長田パッチによる高精度CAMの研究開発
- ELID研削によるXFEL用Si大型集光ミラー作製
- 超精密加工用高速リニア駆動テーブルの研究開発
- 離散的形状表現を用いた高精度非球面光学素子の光学機能シミュレーション
- XFEL大型集光ミラーの高能率・高精度加工法の開発