離散的形状表現を用いた高精度非球面光学素子の光学機能シミュレーション
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概要
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非球面光学素子の加工において、長田パッチという法線を利用した高精度かつ高速演算が可能な離散的形状表現を用い、光学シミュレーションによるナノレベルの非球面光学素子の光学機能予測を行う手法を開発した。
- 公益社団法人 精密工学会の論文
著者
-
森田 晋也
理研
-
Morita Shinya
Ohmori Materials Fabrication Laboratory The Institute Of Physical And Chemical Research
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