XFEL大型集光ミラーの高能率・高精度加工法の開発
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概要
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本研究の目的は、ELID研削およびEEMにより、X線の回折限界集光が可能な大型X線集光ミラーを作製し、将来建設が予定されているX線自由電子レーザーのための集光システムを開発することである。本発表では、ELID研削工程において機上計測と離散的形状表現を用いて高精度かつ高能率な形状創成手法について述べる。
- 公益社団法人 精密工学会の論文
著者
-
森田 晋也
理研
-
Morita Shinya
Ohmori Materials Fabrication Laboratory The Institute Of Physical And Chemical Research
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