MEMS デバイスの動向と真空技術の役割
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概要
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Recently, microelectromechanical systems (MEMS) are installed in most automobiles and portable electronic devices like as smartphone. MEMS devices have evolved dramatically by vacuum technologies. Early MEMS devices were fabricated by anisotropic wet etching process. Current MEMS devices are fabricated by vacuum processes based on semiconductor fabrication technologies. Vacuum technologies are also used for a control of dynamic characteristics of MEMS devices in hermetically--sealed package. In this paper, we report the trend of MEMS devices and the role of vacuum technologies, for pressure sensors, accelerometers, mirror devices and field emission devices, as examples.
- 一般社団法人 日本真空学会の論文
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