小出 晃 | (株)日立製作所
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概要
関連著者
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小出 晃
(株)日立製作所
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小出 晃
(株)日立製作所機械研究所
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小出 晃
日立製作所
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(株)日立製作所 日立研究所
著作論文
- W4 流体MEMS技術の応用展開への取り組み(技術ワークショップ『MEMS開発の最新動向と材料力学への期待』)
- PWM静電サーボ式加速度センサにおける質量部の挙動解析
- 単結晶シリコンの異方性エッチングにおけるエッチレート分布の温度依存性
- マイクロマシニング技術の自動車応用
- シリコンウエハの多層接合技術
- 疑似3次元異方性エッチプロフィル解析システムを用いた単結晶シリコンの3次元加工
- F20-(1) ナノ・マイクロメカトロニクスの加工技術
- バルクマイクロマシニングを応用したマイクロデバイス(第2部微小化技術の最先端)
- MicrofluidicsにおけるMEMS技術(極端技術, 明日の日本のものづくり技術を提案する)
- MEMS デバイスの動向と真空技術の役割