温度画像のための遠赤外線用フレネルレンズ
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
We propose that thin and light-weighted silicon Fresnel lenses is suit for thermal imaging. We adopted a one-mask process with photolithography and inductive coupled plasma reactive ion etching (ICP-RIE) to fabricate silicon three-dimensional structure. Thermal image was taken with a Fresnel lens, which we designed with ray-trace method and fabricated with the three-dimensional (3D) fabrication process. Thermal cameras have been expensive because germanium lenses are difficult to be machined. Since the 3D fabrication process suits mass production compared with other method like multi-level lithography, competitive-price FIR optical systems can be realized.
著者
関連論文
- 223 無尾翼羽ばたき機を用いた蝶の飛行メカニズムの研究(S38-2 小型飛翔体(2),S38 生物飛行と小型飛翔体)
- 「ロボットを進化させる最先端IT技術」特集について
- ファインMEMS : 特集号の企画にあたって
- 2A1-F10 マイクロレンズアレイによる移動物体の速度検出
- 2A1-N-080 微小力計測センサを用いたマイクロマニピュレータの力覚システム(マイクロナノ作業1,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)
- MEMSを用いた生体情報計測
- J0202-1-6 MEMSセンサを用いた昆虫型羽ばたき翼における差圧計測(生物の機能・運動と模倣(1))
- ナノピラー構造を用いたSPRセンサの高感度化
- 1505 平面型マイクロコイルを用いた局所高分解能MRIに関する研究(口頭講演,トピックスセッション:革新的診断治療)
- 2P1-S-063 はばたき飛行機のホバリングに関する研究(飛行ロボット4,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)
- 2P1-N-114 カプセル内視鏡の姿勢制御の研究(医療福祉ロボティクス・メカトロニクス4,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)
- 2P1-N-087 感覚毛型センサを用いた角加速度計測の研究(MEMSとナノテクノロジー2,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)
- 1A1-N-062 レーザー走査による立体視ディスプレイ(VRとインタフェース,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)
- フェロモンセンサを持つ小型移動ロボットを利用した行動解発機構の研究
- ロボティクス・メカトロニクス
- マイクロコイルを用いた微小領域MRI画像計測の研究
- 1P1-63-094 マイクロ飛行機構に関する研究
- 2P2-F06 指の機構の解析に基づく人工の手の研究
- 2P2-46-062 複眼型センサを用いた小型ヘリコプタの自律飛行
- 交流磁場中で回転するマイクロ磁性体回転翼
- 交流磁場中で回転するマイクロ磁性体翼に関する研究
- 受光素子の微動機構を持つ複眼型視覚センサ
- 静電アクチュエータによる網膜振動機構を持つマイクロ複眼センサ
- 2P2-61-089 網膜振動機構を持つマイクロ複眼センサ
- 複眼を規範とした視覚センサの研究(見る・観る・視る)
- 複眼を規範とした資格センサの研究 (特集 見る・観る・視る)
- MEMS 2005国際会議報告
- 柔軟素材に埋め込み可能なマイクロプレーナコイル触覚センサ
- 1A1-69-095 柔軟構造に埋込可能なプレーナインダクタ触覚センサ
- J0205-1-1 チョウ翼面における圧力差計測([J0205-1]バイオメカニズム/バイオミメティクス/バイオインスパイアー(1))
- 2A1-C19 酸素飽和度および脈拍計測のための埋め込み型無線計測デバイス(医療・福祉ロボティクス・メカトロニクス)
- 1P1-C09 べん毛型螺旋スクリューの推進特性(バイオミメティクス・ロボティクス)
- 1A1-A19 反射光強度による動脈血酸素飽和度計測の研究
- マイクロミラーアレーを用いた高感度サーモパイル型赤外線アレーセンサの開発(電子デバイスの高速・高密度実装とインテグレーション技術論文)
- マイクロミラーアレーを用いた高感度サーモパイル型赤外線アレーセンサの開発
- アクチュエーション機能を備えたアクティブ力センサの開発
- 分光画像計測のための可変波長マイクロ光フィルタの設計(研究)
- SOIウェハの陽極接合法による可視光領域用マイクロファブリペロー干渉計(研究)
- 温度画像のための遠赤外線用フレネルレンズ
- 熱音響超音波源を用いた単パルス超音波近接覚センサ
- G020034 チョウの離陸時における圧力差分布([G02003]バイオエンジニアリング部門一般セッション(3))
- 集束イオンビームを用いたグラフェンの片持ち梁構造への加工