試料のプラズマ照射によるスパタリング粒子密度のLIFS測定(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)
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概要
著者
-
岡崎 清比古
理研
-
岡崎 清比古
理化学研究所
-
坂本 雄一
理化学研究所
-
石井 成行
理化学研究所
-
石部 行雄
理化学研究所
-
矢野 勝喜
理化学研究所核融合研究室
-
大山 等
理化学研究所
-
箕曲 在道
理化学研究所
-
矢野 勝喜
理化学研究所
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