広がるプラズマの新しい応用--プラズマ・プロセス-2-プロセシング・プラズマの計測
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概要
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For a plasma which contains many kinds of molecular species and their fragments, diagnostics of particle identification are particularly important. Spectroscopic methods for these purposes are described. Present status of diagnostics for processing plasmas is shown by papers presented on the last International Symposium on Plasma Chemistry.
- 社団法人 プラズマ・核融合学会の論文
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