無電解Ni-W-Pめっき皮膜の透明電極上における異常析出の研究
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概要
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The extraneous deposition of electroless Ni-W-P alloy films on the transparent electrode was investigated. A degreasing process suppressed thick extraneous deposition, while low concentrations of dissolved oxygen resulted in granular extraneous deposition which was affected by the size of the substrate and the orientation of the pattern. The composition of the granular extraneous deposits was almost the same as that of normal deposition, except it was slightly richer in phosphorus and poorer in nickel. The occurrence of granular extraneous deposition was closely related with the amount of adsorption hydrogen, which was reduced by the higher concentration of dissolved oxygen and by stirring.
- 社団法人 表面技術協会の論文
著者
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寺尾 芳孝
沖電気工業株式会社 研究開発本部
-
小岩 一郎
沖電気工業
-
池端 昌夫
沖電気工業株式会社
-
澤井 秀夫
沖電気工業
-
池端 昌夫
沖電気工業 (株) 基盤技術研究所
-
寺尾 芳孝
沖電気工業 (株) 基盤技術研究所
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