オージェ電子分光 (AES) 法による薄膜成長の観察 (理論的考察)
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概要
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When deposits condense on a substrate, the growth behaviour of such a case is first numerated by Seah (Surface Sci. 40 (1973) 595). In this growth mode, AES signals from deposits and substrate can be calculated as a function of a film thickness. The difference between a monolayer overgrowth and a condensation (or a statistical growth) mode is compared for the case of Ag deposition on Ni. The method of the calculus is also applied for the case of an island growth mode. The result explains quite well the experiments.
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