高速微小電流計の設計と製作
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概要
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A designing and the construction of high speed pico-ammeter (HSPA) with feedback resistors (<I>R</I><SUB>f</SUB>) of 10<SUP>11</SUP> and 10<SUP>12</SUP>Ω is described. The floating capacitance at the input and the distributed capacitance around the <I>R</I><SUB>f</SUB>could be effectively compensated by using a guard method and compensating metal plates (4 pieces), respectively. The metal plates method is also capable of compensation for the non-uniformly distributed resistance of the <I>R</I><SUB>f</SUB>. Electronical circuits to reduce the Miller integration effect and to compensate the distributed capacitance by using a lag net-work were also employed. The characteristics of the HSPA was examined with use of square-waved electron emission current, and then the input capacitance including the input cable was about 70 pF. The rise times obtained were 0.4 and 0.7 ms for the <I>R</I><SUB>f</SUB> of 10<SUP>11</SUP>Ω for small and large (2/3full scale) signals, respectively. Those of 2.6 ms for the <I>R</I><SUB>f</SUB> of 10<SUP>12</SUP>Ω for large signal was also obtained. The noise characteristics and the use of MOS-FET associated with its protection techniques are also discussed.
- 日本真空協会の論文
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